成果信息

本产品是在金刚石薄膜上采用平面半导体工艺，研制具有金属－半导体－金属(MSM) 结构的紫外光电探测器，用于100～400nm 紫外波段光信号的探测；所以采用金刚石薄膜紫外探测器，将比用GaN基材料、SiC等材料制备的紫外探测器价格更加便宜、性能也将更优越；MSM结构是有两个背靠背的肖特基二极管构成，不必形成PN结和欧姆接触，所以MSM结构比光电导、PN结、PIN等结构的工艺简单，特别适合于金刚石等宽禁带探测器的制造。)

背景介绍

金刚石具有禁带宽度宽、响应波段短、耐高温、抗腐蚀等优点，是同类宽带材料（GaN基材料、SiC、BN等）中光响应波段最短的材料，光响应峰值约为200nm 、 400～800nm 的可见光区范围均为盲区，大大有利于紫外光的探测；金刚石薄膜的生长技术在中国已经逐渐成熟，成本大大下降。)

应用前景

紫外探测器主要用于矿井可燃气体和汽车尾气的监测，固体燃料成分分析、环境污染监测、水下通信、细胞癌变分析、DNA测试、准分子激光器检测等领域。随着紫外线的广泛应用，紫外探测器也必将在环保、医学、军事等领域广泛应用，并有着广阔的市场。)