成果信息

该项目装置的技术主要优势有： （1）该装置具有设备投资小、成本低、粉末制备和薄膜沉积的转换过程自动化程度高； （2）利用直流电弧等离子体作为热源对材料进行加热、蒸发、气化并用收集器收集，形成超微粉，由于气相中的粒子成核及生长的空间增大,制得的产物粒子细, 形貌均一, 具有良好的单分散度, 制备在封闭容器中进行, 保证了粒子具有更高的纯度，另外直流电弧等离子体还具有气氛可变、温度易控的优异特点； （3）该设备制备薄膜，沉积工艺操作简单，通过控制系统全面实现自动化，薄膜厚度可控，沉积质量高； （4）在较低的温度下制备薄膜，真空蒸发体系与微电子工艺相兼容； （5）精确地控制所沉积薄膜的化学组成，能获得成分均匀的薄膜， 可以制备合金和化合物薄膜，也可以进行掺杂蒸发。且技术已申请中国发明专利“一种制备纳米粉末和薄膜材料的装置”，本技术处于国际先进水平。 )

背景介绍

纳米粉末和薄膜材料往往具有块体材料所不具备的声、光、磁、电、热、催化等特性，在国防、化工、电子信息、航天、冶金、能源等领域具有广阔的应用前景。现有的纳米粉末和薄膜材料制备设备昂贵，功能单一，往往只能适用于特定的材料体系，因此市场需求一种既可用于纳米粉末材料。)

应用前景

该装置广泛适用于微电子、光电子、航天、冶金、化工、能源等领域，具有广阔的应用前景。)