成果信息

耐ArF、F2深紫外激光辐照特种石英玻璃，ArF准分子激光193nm的透过率大于90%，F2准分子激光157nm的透过率大于80%。ArF、F2深紫外激光辐照时玻璃不产生结构缺陷，不发出红色荧光。该技术现掌握了控制性能的关键技术，除了纯度以外，OH、H2含量范围、均匀性的控制及其关键技术。 )

背景介绍

特种玻璃是指除平板玻璃及日用器皿玻璃以外的，采用精制、高纯的新型原料，采用新工艺在特殊条件下或严格控制形成过程制成的具有特殊功能或特殊用途的玻璃。 玻璃已从单纯的透光材料和包装材料发展成具有光、电、磁和声等特性的材料。 )

应用前景

该项目可应用于深紫外光刻、光制导等领域，其经济效益可观，在光电方面有重要作用。)