成果信息

本发明所采用的技术方案是：所述大行程高精度微纳驱动装置及其定位方法包括固定外架、第一驱动模组、第二驱动模组、运动解耦组件、连接螺杆、承载板、导向套和紧固螺栓。)

背景介绍

随着人们对纳米科技的不断探索，纳米定位技术已经广泛应用于许多学科与领域，特别是当代超精密加工技术、纳米技术、微机电系统等的兴起与发展对长度量的测量提出了越来越高的要求。国内外有关精密定位工作台大多是采用宏微两级控制驱动，定位精度和分辨率已从过去的毫米级过渡到了微米级、从亚微米级进入到了目前的纳米级。但当宏动台完成宏运动的同事，虽然进行了补偿，但宏动台仍然会有微笑的振动，对于该精度定位系统，其影响是不可忽视的。目前，基本都是通过研究宏动台自身特性，从内部入手采取补偿措施，尚未检索到一种对宏动工作台外部进行锁定的装置。)

应用前景

该研究可应用于未来的超精密机床、纳米加工机床、超精密定位及纳米检测与测量设备、航空航天设备、精密光学仪器设备、光刻设备、医疗器械设备及生物工程设备等多个领域的关键重要装备中应用，具有重要的理论研究意义及重要的应用前景。)