成果信息

本系统引入高压脉冲辉光放电技术，将真空阴极弧和中频磁控溅射等多种镀膜技术相结合，可研究开发单层及多层功能膜，如硬质膜、金属膜、半导体膜、介质膜、碳膜、铁磁膜和磁性薄膜等新型薄膜材料。TiN、TiC、TiCN、TiAlN等硬质薄膜已经在工具、模具、装饰等行业得到日益广泛的应用，类金刚石碳（DLC）膜是一种光滑致密、高硬度、高电阻率、高导热率、良好的红外透过性、高化学稳定性、低摩擦系数高耐磨性的新型超硬薄膜。 技术指标： 1、电源输出功率：～ 500KW，设前级隔离变压器，对电网电压的干扰小； 2、计算机实时控制电流、电压、功率、频率、脉宽及时间曲线等； 3、在电源设计范围内，正、负向脉冲波形可独立组合调整，； 4、可设定恒流、恒压和恒功率三种输出方式，恒流、恒压在线无扰动转换； 5、电流和电压正、负向峰值及脉冲宽度单独可调，稳定精度2%； 6、脉冲频率范围为50 ～ 2000Hz，占空比5～95％之间可调； 7、主体系统包括：机械传输系统、等离子体电解氧化系统、冷却循环系统、微机控制系统； 8、辅助系统包括：纯水制取系统、水处理系统、排风系统、温控系统、电解液检测系统。)

背景介绍

基于改善类金刚石碳膜与铝合金基体结合力，提高铝合金表面承载能力的目的,采用了高离化率，高沉积速率的真空阴极弧离子镀技术，在铝合金表面获得DLC/TiC/Ti(CN)/TiN/Ti多层膜，铝合金表面获得多层膜的成分、组织、结构,工艺参数对多层膜的成分、组织、结构的影响及其控制，为了进一步提高膜层质量，研制了电子式真空阴极弧引弧器及无辅助阳极弯曲弧磁过滤器，以期在航天领域的星、箭连接和展散机构以及传动转动机构等空间技术领域得到广泛应用。)

应用前景

真空阴极弧离子镀及DLC超硬薄膜制备技术在机械、电子、光学以及医学等方面有广阔具有应用前景。)