成果信息

本项目针对三氯氢硅生产工艺的特点和要求，对三氯氢硅生产工艺进行改进，提出一种新的三氯氢硅生产和精制提纯的方法，解决三氯氢硅生产中投资大，能耗高，分离效率低的问题。利用多级精馏或吸附、络合精馏，对工业级三氯氢硅进行精制，使其纯度更高，杂质中硼含量降低到了0.15ppb，磷含量降低到了0.37ppb。技术指标：四氯化硅塔等后续产品中低沸物含量大幅降低，纯化后的三氯氢硅纯度可达到99.9%，其中硼、磷等杂质含量降低到20~40ppb。)

背景介绍

我国经济的飞速发展，尤其是精细化工、有机硅产业、电子产品、光纤通讯等行业的快速发展，为三氯氢硅的生产和下游产品的开发提供了巨大的市场空间和机遇，而受技术条件等的限制，三氯氢硅是规划的一个产值高、有发展前途的产品。三氯氢硅是生产太阳能级与微电子级多晶硅的重要原料，目前国内的三氯氢硅生产工艺中，原料中低沸物以及含有硼、磷等轻组分的含量较高，分离效率不高；产品中含有易结晶杂质，常堵塞管道，整个工艺中能量不能循环利用，造成了极大的能源消耗，增加了投资和生产成本。)

应用前景

该技术适用于三氯氢硅用于有机硅烷和烷基、芳基以及有机官能团氯硅烷合成，是有机硅烷偶联剂中最基本的单体，也是生产半导体硅、单晶硅的原料，因此，具有广阔的市场前景。)