成果信息

该项目主要研究了卷对卷纳米压印关键技术、模具、设备和应用工艺：1、卷对卷纳米压印关键技术与设备。1）系统地开展了卷对卷纳米压印关键技术和装备的研究，实现了压印辊的快速加热与冷却、薄膜张力与变形量伺服控制、检测等技术，研制成功卷对卷纳米压印设备。2）发明了双辊补偿压印模式，攻克了卷对卷压印中存在的模具拼缝的问题，实现无接缝压印。3）研究纳米结构和微米结构同时热熔冷压的新技术，实现了薄膜型菲涅耳镜等微光学器件工业化制造。 2、压印材料与工艺。本项目研究并解决了PMMA脱模改性、PE/PET复合材料制备等工艺，实现了涂层厚度0.2-3微米厚度PMMA涂层、6微米-30微米厚度PE/PET的光学膜制备，解决了连续压印过程中材料的可靠性、一致性和高保真的技术难题。 3、大尺寸微纳图形模具。大尺寸微纳结构模具制造一直是纳米制造的重大技术瓶颈，项目研制了大型紫外激光混合图形直写设备（特征结构100nm-10um），利用UV 转移拼板技术，实现了大尺寸微-纳模具制造，并且实现了产业化应用。)

背景介绍

微纳制造是新兴产业先导性与共性技术，涉及平板显示上游关键材料、LED照明、新型环保印刷和公共安全等领域，有巨大市场需求。长期以来，我国企业和高等院所的微纳加工设备依赖进口，自主研制微纳加工设备鲜见报道，严重制约了我国行业新产品创新和竞争力。因此，研制具有自主核心技术的装备、实现微纳结构器件与材料低成本制造，对推动我国纳米新产品开发和行业技术进步有重大意义。)

应用前景

基于我国行业现况，项目率先在LED显示照明、高端公共安全、无油墨印刷包装等行业推广，实现了规模应用，卷对卷微纳压印是行业共性技术，在平板显示、太阳能、LED照明、环保无油墨印刷领域有巨大需求，因此，应用前景广阔。)