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高频辉光放电等离子体发生电源


行业类别:微电子技术
所处阶段:研究阶段
持有单位:北京交通大学
转让方式:技术转让,
转让价格:面议

成果信息

自主研发高频辉光放电等离子体发生电源可输出高频高压信号,并实现了输出电压的幅值和频率较大范围可调。此外,该电源进行了自动报警、自动恢复等多项安全设计,确保了高压放电过程中操作人员和电源产品本身的安全。目前该电源已经根据产品化标准开发为相应产品,为研究等离子体发生机理、内部参数测量和应用提供了基础。)

背景介绍

目前等离子体技术在灭菌、材料改性、医疗、生物科学等领域的研究和应用表现出了巨大的前景。而无论是在等离子体研究和还是等离子体应用领域,等离子体发生电源是不可或缺的一环。)

应用前景

该电源主要用于低温等离子体的生成,而低温等离子体的生成是所有等离子体研究和应用的前提和基础。所以,目前等离子体研究和应用领域都需要该种电源。)