成果信息

激光加工制造的一个重要发展方向是基于超短脉冲激光源的激光精密加工技术，由于脉冲极短、峰功率极高，可实现高精密冷加工，加工精度可达纳米与微米量级，其应用遍及微电子、微机械和微光学加工等，例如：（1）微米量级的光滑微孔加工，（2）材料表面纳米级改性技术，（3）高纯度、粒度均匀分布的纳米颗粒制造，（4）线宽小于100nm的掩膜板制备，（5）高密度信息的写入存储，（6）半导体晶圆的精密划片，（7）复杂微结构加工与制作等，涵盖国防、航空航天、信息、纳米、医学和生物工程等广泛领域。激光微纳加工与数控技术相结合，已成为当今工业生产领域最活跃的技术方向。)

背景介绍

激光加工制造技术是先进加工制造技术的重要内容和发展方向，是实现制造业升级换代的高技术基础，具有显著优势：加工精度高、加工效率高、材料浪费少、加工对象广泛、环境污染小等。)

应用前景

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