成果信息

纳米级三维探针台由压电马达驱动，包含传感器、驱动器和控制器等部件，是精密仪器运动控制系统的核心部分，其压电马达具有高分辨率、小尺寸、低能耗、稳定性高、无返程空回等特点。其运动控制部分采用驱控一体的压电专用控制器,使系统不仅更简洁、更灵活，还具有更好的实时性。)

背景介绍

待添加)

应用前景

本项目产品主要应用于电子、光伏、材料、医疗等行业的测试和微纳米操作。按测试样品分类可进行晶圆测试、LED测试、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、太阳能电池片测试、材料表面电阻测试、纳米器件测试等；按应用分类可进行射频测试、高温环境测试、低温真空测试、低电流（fA）测试、I-v/c-v/p-iv测试、高压大电流测试、特殊气体环境测试、强磁环境测试、纳米操作、细胞穿刺等。)