成果信息

MOCVD设备作为氮化镓、砷化镓、磷化铟等化合物半导体外延材料研究和生产的重要技术手段，特别是作为工业化生产的设备，它的高质量、稳定性、重复性及规模化是其它的半导体材料生长设备所无法替代的，是当今世界上生产半导体光电器件和微波器件材料的主要手段。)

背景介绍

MOCVD （Metal Organic Chemical Vapor Deposition）材料生长装备，即金属有机物化学气相沉积设备，是化合物半导体外延材料研究和生产的关键设备，特别适合化物半导体功能结构材料的规模化生产，是其它半导体设备所无法替代的核心半导体装备，是当今世界上生产半导体光电器件和微波器件材料的主要手段，是当今信息产业发展、国防高新技术突破不可缺少的战略性高技术半导体设备。)

应用前景

激光器、探测器、发光二极管、高效太阳能电池、光电阴极等光电子产业。 MOCVD系统的销量将会随着产品信誉度的提高而增加，由于本项目拥有MOCVD关键技术的自主知识产权，该产品不仅可以在国内销售，还可以出口国际市场。)