成果信息

（1）本发明采用红外热成像的原理来检测薄膜厚度均匀性，整个检测过程中，待测薄膜只需要和加热装置接触，避免了薄膜在检测过程中受到破坏。红外摄像装置拍摄待测薄膜表面各个时刻的温度分布，对待测薄膜进行在线实时检测； （2）在某一特定时刻t，待测薄膜厚度变化百分之一，则相应的厚度也变化百分之一。不同薄膜材料的特定时刻t不同，但是这一特定时刻t通常都是小于1秒，因此可以快速检测薄膜厚度均匀性； （3）利用红外热成像检测薄膜厚度均匀性，由于所有高于绝对零度的物体都会发出红外辐射，所以本发明在检测厚度均匀性时不用考虑待测薄膜的材料是否导电、透明等问题，适用于检测任何材料的薄膜厚度均匀性。)

背景介绍

薄膜具有良好的韧性、防潮性和密封性，在生活和工业中的应用十分广泛。随着社会的发展，生活和工业中对薄膜性能的要求越来越高，而薄膜的性能与其厚度均匀性有着密切的关系。因此，对薄膜厚度均匀性进行快速无损检测是十分有必要的。 目前薄膜厚度均匀性的检测主要以薄膜厚度作为主要的检测目标，检测薄膜厚度的方法主要有涡流、β射线、光学法和红外法等。涡流法适用于导电金属上的非导电层厚度测量；β射线法则有放射性；光学法只能测量透明的薄膜，这些方法都存在一定的局限性。相比以上几种方法，红外法具有明显的优势，利用红外热成像法可以快速、无损检测薄膜厚度均匀性，由于所有高于绝对零度的物体都会发出红外辐射，所以该方法不受薄膜是否导电、是否透明影响。)

应用前景

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