成果信息

采用介质隔离，没有PN结，克服了PN随着温度升高，漏电流增大，性能变差甚至失效的问题，具有突出的耐高温能力和稳定性,现已掌握了高精度、高稳定、耐高温的压力敏感元件设计与制作关键技术，形成了一套完整的加工工艺；在传感器的封装上，取得了重大突破，解决了10MPa一下的绝压、表压传感器的隔离封装问题，实现了无油介质隔离封装，解决压力传感器的低成本、高性能要求，满足频繁脉动压力变化的长期测量需要，还满足汽车刹车系统和ESP系统的高可靠要求。根据工业领域的高精度、高可靠、低漂移的要求，在芯片设计、芯片封装结构设计、芯片与传感器基座的封装工艺上都进行了研究，满足目前国内工业用压力变送器充油芯体的制作要求，性能能够得到明显改善。 该技术基于两项863计划的支持，通过了科技部863专家组的验收，达到了国际先进水平。在2002年得到了军工科研支持，2007年通过了课题鉴定。此后在2009年的得到了中国气象局气象专项科研的支持，该项目的研究成果在传感器的芯片设计与加工，传感器的封装与补偿方面都取得了重要成果，产品的成熟度好。该传感器在精度、稳定性、封装结构与工艺等方面达均到了国际同类产品先进水平，在国内处于领先地位。 )

背景介绍

硅压阻式压力传感器在民用及国防中得到了广泛的应用，国内已有专门从事压力传感器生产的企业，创造出了突出的业绩。在传感器的性能及价格方面，目前国内能够生产的压力传感器主要属低端和中端产品，生产数量很多，经济效益不明显。所以现在亟待解决的就是突破了高端产品的技术瓶颈，研制出了高性能的压力传感器。)

应用前景

（1）汽车领域：采用本项技术，可以使传感器满足汽车配套要求，替代进口；按每只售价50元计算，每只产品的净利润约在15元，每年产值可达数亿。汽车ESP系统及刹车系统的油压传感器，每年的需求在500万只以上，目前国内生产厂家还没有解决在动态油压作用下引线断裂问题，因而没有合格供应厂家。刹车系统的油压传感器每只售价约在150元，按国内配套每只产品90元计算，只产品的净利润约在30元，每年产值也可达数亿。 （2）气象领域 该传感器可直接由于探空仪中，用于测量大气高度。目前气象压力传感器的精度约为1KPa，本产品可达200 Pa，每年的需求在20万只，每只售价约为50元，利润在400万元。 （3）工业领域 目前工业用压力传感器及变送器的OEM充油芯体，主要采用进口的传感器芯片，芯片与基座的装配技术不过关，限制了传感器的精度及稳定性，本项目产品可替代现有的压力传感器封装芯体，使传感器的稳定性及可靠性得到明显提升。每年的市场需求约为5000万只，每只售价约为50元，利润在15元左右。 （4）石油测井 可以替代现有的进口高温压力传感器，每年的需求约为2000只，产值1000万元。 )