成果信息

本成果采用了SIMOX技术设计和制作了二氧化硅介质隔离的SOI力敏元件，针对－40～220℃的工作环境设计了装配结构，完成了耐高温封装工艺，选用了恒流源激励，设计了温度补偿电路，完成了静态标定，获得了高性能稳定性佳的耐高温压力传感器，压力测量范围：0~40MPa，产品达到了国际同类产品的先进水平，具有很高的推广和实用价值。在结构上，针对各行业需求，通过建模分析，解决与之相对应的处理电路，从而可扩大产品使用领域，如取代高温熔体压力传感器等，使产品的标准化和系列化。)

背景介绍

高温压力传感器以其优良的高温工作能力在压力传感器中一直受到高度重视,是传感器研究的重要领域之一，也是各国政府努力掌握的高科技技术之一。 高温压力传感器是指在高于125℃环境下能正常工作的压力传感器，其在石油、化工、冶金、汽车、航空航天、工业过程控制、兵器工业甚至食品工业中都有着广阔的应用前景，例如：高温油井内的压力测量、各种发动机腔体内的压力测量、宇宙飞船和航天飞行器的姿态控制、高速飞行器或远程超高速导弹的飞行控制、喷气发动机、火箭、导弹、卫星等耐热腔体和表面各部分的压力测量。尤其在武器系统中高温压力传感器是动力系统所不可缺少的，因此,对高温压力传感器的研究与开发具有重要意义。)

应用前景

本成果可应用于石油采油、测井、化工、橡塑、化纤、纺织、热工等领域高温环境下的压力测量，市场需求约为1000万元/年，市场前景很好。)